Spectromètre infrarouge IconIR300™

AFMd'inspectionpour nanotechnologie

Accès supplémentaire de 300 mm aux échantillons pour la R&D sur les semi-conducteurs, l'analyse des défaillances et l'identification des nanocontaminants Le système Dimension IconIR300™ nanoIR pour grands échantillons offre une caractérisation rapide et de haute précision à l'échelle nanométrique pour les applications de semi-conducteurs, prenant en charge un large éventail de types de matériaux et de tailles d'échantillons jusqu'à des plaquettes de 300 mm. En combinant la spectroscopie infrarouge photothermique brevetée avec la cartographie avancée des propriétés AFM, l'IconIR300 permet l'inspection automatisée des plaquettes et l'identification des défauts sur des échantillons qui défient les techniques conventionnelles. L'architecture du système prend en charge l'imagerie chimique rapide et l'analyse quantitative, étendant les capacités AFM-IR à de nouveaux segments et matériaux de semi-conducteurs. L'automatisation des mesures basée sur des recettes intégrées et un logiciel robuste d'analyse des données rationalisent les flux de travail, garantissant des mesures reproductibles et à haut débit pour le développement des processus, le contrôle de la qualité et les environnements de production. Plaque entière caractérisation des propriétés chimiques et matérielles à l'échelle nanométrique Combine la spectroscopie IR et la cartographie AFM des propriétés pour des mesures très précises et non destructives des plaquettes de 200 mm et 300 mm. Sans ambiguïté identification des nano-contaminants organiques/inorganiques Amélioration de la qualité des plaquettes de semi-conducteurs et des masques photographiques grâce aux données AFM-IR photothermiques directement corrélées aux bibliothèques FTIR. Automatisé automatisées basées sur des recettes Accès convivial à des données complètes et prise en charge des fichiers KLARF. ly le système Dimension IconIR300 offre : Mesure non destructive de l'ensemble des wafers de 200 mm et 300 mm ; L'identification sans ambiguïté des nano-contaminants organiques et inorganiques sur les tranches de semi-conducteurs