Ellipsomètre spectroscopique Auto SE
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Caractéristiques

Type
spectroscopique
Application
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Description

L’Auto SE est un système unique complètement automatisé et très simple d’utilisation, pour la mesure des couches minces. L’analyse non destructive de l’échantillon s’effectue en quelques secondes via un logiciel presse-bouton, et délivre un rapport automatique d’analyse qui inclut : les épaisseurs des couches (de 1 Angstrom à 15 µm), les propriétés optiques, les rugosités de surface, la détection des interfaces et des inhomogénéités de couches (gradient, anisotropie). L’Auto SE inclut de nombreuses fonctions d’automatisation, telles que porte échantillon XYZ motorisé, un système de vision unique MyAutoView et une sélection automatique de huit tailles de spot. Il offre également un large choix d’accessoires permettant des conditions expérimentales variées, ainsi que la mesure d’une grande diversité d’échantillons. Intégrant des outils d’auto-diagnostique, l’Auto SE garantit une efficacité et une productivité optimale. L’Auto SE convient parfaitement aux besoins de contrôle routinier, des échantillons et composants élaborés en couches minces, de la production industrielle à la recherche scientifique.

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