Contrôleur de débit Turbo™ 2950

de laboratoirehaute précision

Basés sur une technologie éprouvée sur le terrain, les contrôleurs de débit de liquide MSP Turbo™ 2950 ont été conçus pour être associés aux vaporisateurs MSP Turbo II™ afin de fournir une solution fiable et performante de distribution de vapeur liquide pour les processus de dépôt de films minces de semi-conducteurs (y compris CVD, PECVD, ALD et MOCVD). Les contrôleurs de débit de liquide Turbo™ 2950 contiennent un capteur de débit haute précision et haute vitesse conçu sur mesure et des électroniques de contrôle de débit méticuleusement conçues pour offrir les performances de classe mondiale nécessaires au traitement avancé des semi-conducteurs. - Contrôle de Débit Précis Les LFC 2950 intègrent des capteurs de débit et des électroniques de contrôle de liquide pour réguler la vanne Piézo sur les vaporisateurs Turbo II™ de MSP. Pour les vaporisateurs dépourvus de vanne Piézo intégrée, envisagez la série 2950V Turbo™ LFC pour un contrôle de débit efficace. - Applications - Processus de dépôt de films minces de semi-conducteurs - Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) - Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) - Dépôt de couches atomiques (ALD) - Dépôt chimique en phase vapeur de métaux organiques (MOCVD) - Applications nécessitant un débit constant - Caractéristiques et Avantages - Débit fixe - Précision et linéarité exceptionnelles - Temps de réponse ultra-rapide - Répétabilité supérieure - Options de plage de débit étendues - Modèles Turbo™ LFC Disponibles - Numéro de modèle : 2950-002, 2950-01, 2950-05, 2950-10, 2950-20, 2950-30 - Échelle complète TEOS* (g/min) : 0.2, 1, 5, 10, 20, 30 - Échelle complète TEMAZr (g/min) : n/a, 0.19, 0.95, 1.9, 3.8, 5.7 - Échelle complète H2O (g/min) : 0.14, 0.73, 3.6, 7.3, 14, 21 *Débit maximal nominal déterminé en utilisant le TEOS comme liquide de référence à 23±2°C. La plage de débit est fonction du liquide spécifié. - Marque : TSI (MSP Turbo™) - Modèle : 2950-01 (autres modèles disponibles : 2950-002, 2950-05, 2950-10, 2950-20, 2950-30) - Application : Dépôt de films minces de semi-conducteurs (CVD, PECVD, ALD, MOCVD) - Caractéristiques : Débit fixe, haute précision, réponse rapide, répétabilité, large gamme