Le vaporisateur Turbo II™ 2855PE de MSP est conçu pour les applications microélectroniques de haute précision qui nécessitent des débits de vapeur moyens à élevés. Basé sur les vaporisateurs MSP Turbo™ éprouvés sur le terrain, très fiables et nécessitant peu d'entretien, le nouveau 2855PE offre un débit de vapeur deux fois plus élevé dans un encombrement deux fois plus petit.
Détails du produit
Dimensions (HxLxP) - 236 mm x 84 mm x 142 mm (9,3'' x 3,3'' x 5,6'')
Poids - 5,2 kg (11,5 lb)
Raccords (sur l'appareil) -
Entrée du gaz de ville - Écrou fendu femelle VCR de 1/4 po Écrou fendu femelle VCR
Entrée de liquide - 1/8 po. VCR femelle
Sortie de vapeur - 1/4 po. VCR femelle
Air comprimé - raccord de tube instantané de 4 mm
Pièces en contact avec le fluide - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Nickel, PCTFE
Intégrité des fuites - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Hélium
Puissance requise pour l'appareil de chauffage1 - 208 VAC, 60 Hz, 900 W
Gaz vecteur - Gaz inerte recommandé
Débit maximal du gaz vecteur1 - 10 litres standard/min N2 à 50 psig
Débit maximal de liquide2 - 40 g/min (TEOS ou équivalent)
Limite de pression du système - 150 psig
Air comprimé - 90 à 110 psig
Plage de température3 - 40°C à 200°C
Capteur de température - 2 thermocouples de type K
Accessoires - Câble d'alimentation inclus (3 m). AMP CPC, connecteur à 4 broches avec 3 fils volants à l'extrémité opposée
Les spécifications peuvent être modifiées sans préavis.
1 Le débit maximal du transporteur, la puissance de chauffage (W) et la tension de ligne sont réglables en usine. Pour plus d'informations, consulter le site www.tsi.com/contact.
2 Le débit maximal de liquide dépend du procédé. Les spécifications supposent une température du vaporisateur de 200°C, un débit maximal de gaz porteur et une pression <50 Torr immédiatement en aval du vaporisateur.
3 Une ventilation appropriée est nécessaire.
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