Compteur de particules laser Chem 20™

de processonline

Les processus microélectroniques de pointe nécessitent des produits chimiques très propres, hautement filtrés et régulés à une taille de particule de 20 nm ou moins. Avec une sensibilité aux particules de 20 nm, le compteur de particules chimiques Chem 20 de Particle Measurement Systems (PMS) prend en charge la feuille de route internationale pour les appareils et systèmes (IRDS) et une grande variété de produits chimiques. De nombreuses données sur les systèmes de conditionnement et de distribution de produits chimiques prouvent que le capteur PMS Chem 20, avec sa sensibilité de 20 nm, détecte les concentrations plus importantes de particules avec de meilleures statistiques que les produits concurrents. Le compteur de particules chimiques Chem 20 est un outil efficace qui permet aux ingénieurs spécialisés dans les installations et les process de détecter et caractériser rapidement les sources des particules chimiques avant qu’elles n’aient un impact sur les performances du process et de l’appareil. Caractéristiques du produit Surmonter la dispersion d’arrière-plan Sécurité des lasers Détection des bulles dans le flux d’échantillon Gestion d’une réduction du flux d’échantillon Detection des fuites Obtention de données stables et reproductibles Détails du produit Maintenant avec capacité d’échantillonnage à seringue avec le SLS-20 Sensibilité de 20 nm pour les produits chimiques grâce à l’optique laser et les détecteurs avancés Débitmètre intégré pour régler le débit de l’échantillon Premier compteur de particules optimisé pour des produits chimiques à indice de réfraction faible et élevé,