Le RX3000 est un régulateur de pression à membrane libre à un étage spécialement conçu pour les applications de haute pureté et d'ultra-haute pureté. Sa conception à un étage assure une excellente stabilité du débit, et sa conception sans filetage garantit le plus haut niveau de pureté.
Principaux avantages
Conception unique sans filetage dans toutes les versions pour un niveau de pureté plus élevé
Effet de pression d'alimentation optimisé et excellente stabilité du débit
Durée de vie conforme à la norme CGA E4
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Surface électropolie selon SEMI F19 UHP Grade
Matériau UHP - option Semi F20 disponible
Caractéristiques techniques
Plage de température -20°C à +65°C (-4°F à +149°F)
Type de régulateur Membrane libre
Pression d'éclatement 300% de la pression de service
Pression d'épreuve 150% de la pression de fonctionnement
Taux de fuite maximal certifié d'hélium à l'intérieur (à la pression maximale) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié de l'hélium à travers le siège (à la pression max.) - ≤ 1 x 10-8 mbar.l/s
Taux de fuite maximal certifié d'hélium vers l'extérieur ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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