Le RX2200 est un régulateur de pression à diaphragme pour les applications HP et UHP. Sa conception sans ressort et sans filetage permet de conserver le plus haut niveau de pureté du gaz.
Principaux avantages
fonctionnement à 100% et test de fuite à l'hélium effectué
Membrane en Hastelloy®
Ressort interne et sans filetage pour les exigences UHP les plus élevées
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Option interne résistante à la corrosion disponible : Clapet en Hastelloy®
Rugosité de surface électropolie selon SEMI F19 UHP Grade
Option de revêtement des zones en contact avec le fluide disponible
option double fusion en acier inoxydable 316L VAR® selon SEMI F20 disponible
Matériaux de siège spécifiques aux fluides en option standard
Options supplémentaires à orifices multiples
Spécifications
Pression d'entrée maximale 240 bar
Pression de sortie 3/8/10/15/25/50 bar
Plage de température -20°C à +65°C
Capacité de débit (cv) 0,2
Pression d'éclatement* - 300% de la pression de fonctionnement
Pression d'épreuve* - 150% de la pression de fonctionnement
Effet de la pression d'alimentation i* 1.35 bar / 100 bar
Taux de fuite certifié max. d'hélium à l'extérieur ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié max. d'hélium à travers le siège (à la pression max.) - ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s
Taux de fuite hélium intérieur max. certifié (à la pression max.) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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