M20 est une vanne à membrane pour les applications HP et UHP. Sa conception sans ressort permet de maintenir le plus haut niveau de pureté du gaz. La M20 est destinée aux basses pressions jusqu'à 15 bar. Deux types d'actionnement sont disponibles à l'achat : volant multi-tour ou actionneur pneumatique.
Principaux avantages
test d'étanchéité à l'hélium réalisé à 100%
Disponible dans les tailles 3/4" à 1" pour prendre en charge une large gamme de connexions
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Rugosité de surface électropolie selon SEMI F19 UHP Grade
Excellente capacité de purge grâce aux orifices de purge optionnels
Matériau de siège spécifique au fluide en option standard
Siège remplaçable
Matériau UHP - option SEMI F20 disponible
Caractéristiques techniques
Pression de service maximale Voir tableau ci-dessus
Pression d'ouverture de l'actionneur pneumatique 5 à 7 bar
Plage de température Voir tableau ci-dessus
Capacité de débit (cv) 3,5
Diamètre nominal du siège 20 mm (0.79")
Pression d'éclatement >700 bar (10152 psig)
Taux de fuite maximal certifié d'hélium à travers le siège (à la pression maximale) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié de l'hélium à l'intérieur du siège (à la pression maximale) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié de l'hélium à l'extérieur ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
---