Dans la fabrication des semi-conducteurs, la moindre trace de contamination peut compromettre la qualité du produit. La miniaturisation des semi-conducteurs ne cessant de progresser, la réduction de la contamination organique à l'état de trace est devenue de plus en plus critique pour maintenir un taux de rendement élevé. Par conséquent, les normes de qualité de l'eau ultrapure utilisée dans la fabrication des semi-conducteurs sont de plus en plus strictes. La nécessité de détecter l'urée et d'autres composés difficiles à oxyder s'est accrue, en particulier dans le processus de fabrication des semi-conducteurs de pointe. La détection de ces composés s'est avérée difficile avec les techniques conventionnelles. L'analyseur de COT en ligne TOC-1000e S pour l'eau ultrapure a été développé pour répondre à ces défis, en tenant compte des commentaires des fabricants de semi-conducteurs de pointe.
Shimadzu est un fournisseur de confiance d'analyseurs de COT depuis plus de 50 ans, établissant un héritage en tant que leader des instruments COT. Tirant parti de ces décennies d'expertise et de techniques avancées, Shimadzu propose l'analyseur de COT en ligne TOC-1000e S pour l'eau ultrapure, spécialement conçu pour répondre aux exigences rigoureuses du processus moderne de fabrication des semi-conducteurs.
Caractéristiques
Sensibilité de détection supérieure pour les composés difficiles à oxyder
Capacité d'oxydation élevée avec détection précise de l'urée et d'autres composés difficiles à oxyder
Dans la fabrication des semi-conducteurs, de grands volumes d'eau ultrapure sont produits à partir de diverses sources d'eau. Au cours de ce processus de purification, les impuretés doivent être éliminées dans toute la mesure du possible. L'urée est particulièrement difficile à éliminer en raison de ses caractéristiques difficiles à oxyder.
---