Chambre climatique

thermostatiquede températured'humidité

Application
Fait circuler de l'air propre et contrôle l'humidité pour éliminer les variations d'environnement liées au lieu d'installation, destiné aux équipements nécessitant stabilité dimensionnelle, précision de positionnement et mesures fines. Possibilités de configurations spéciales adaptées aux équipements intégrés et aux besoins clients.

Points clés

• Propreté : ISO classe 4 (classe 10).
• Précision de contrôle de la température : de ±0,1 °C à ±0,005 °C.
• Conception adaptable aux dispositifs intégrés.
• Plusieurs circuits de protection pour la sécurité.
• Création d'un environnement à haute propreté et température/humidité haute précision pour prévenir l'adhésion de particules/gaz et les dilatations/rétractions dues aux variations thermiques et hygrométriques.
• Contrôle de l'humidité : standard 40–60 %HR ; option basse humidité 5–40 %HR.
• Régulation PID, composants ultra‑précis et système d'écoulement d'air adaptés à la précision de température ; variation de température possible de 0,1 °C à 0,002 °C selon configuration.

Normes et spécifications
Type C (enclosure)
• Idéal pour appareils de mesure de longueur et steppers.
• Composé d'un groupe de conditionnement d'air avec contrôle d'humidité, ventilateur et filtres HEPA, et d'une zone de travail (chambre).
• Options pour la chambre : obturateurs automatiques (électrique ou pneumatique), hublot d'inspection pour manipulation des dispositifs internes, porte de maintenance.
• Disponible en flux laminaire vertical (HEPA au plafond) et flux laminaire horizontal (HEPA sur le côté).

Type B (ouvert)
• Pour aligneurs de projection.
• Appareil de type ouvert intégrant un groupe de conditionnement d'air à commande de température à l'arrière d'un plan de travail à flux laminaire vertical.
• Faible emprise au sol et mobilité facilitée grâce à des roulettes en option.

Type S (séparé)
• Convient aux traceurs à faisceau d'électrons et aux petits équipements avec débit d'air de traitement ≤50 m/min.
• Système canalisé séparant le groupe de conditionnement d'air de la chambre pour isoler bruit, vibrations et bruit électromagnétique.
• Accès aux dispositifs internes depuis l'avant, les deux côtés et l'arrière.
• Existe aussi en version circulation avec raccordement en conduit entre entrée d'air et zone de travail.

Principales applications
Fabrication de semi‑conducteurs : steppers (exposition par réduction), aligneurs, traceurs à faisceau d'électrons
Fabrication de panneaux d'affichage : LCD, écrans plasma, FED
Usinage de précision : polisseuses de miroir, machines laser, fraiseuses pour têtes magnétiques, polisseuses de lentilles de précision, spin coaters pour CD‑R/DVD‑R
Instruments de mesure de précision : appareils de mesure de longueur de précision, machines de mesure 2D/3D
Domaine biologique : microscopes de précision, manipulation d'échantillons sensibles aux variations de température/humidité

Points techniques

• Propreté : ISO classe 4 (classe 10)
• Précision de température : ±0,1 °C à ±0,005 °C (configurable jusqu'à 0,1 °C–0,002 °C)
• Contrôle d'humidité : standard 40–60 %RH ; option basse humidité 5–40 %RH
• Méthode de contrôle : PID
• Conditionnement d'air : mécanisme de contrôle d'humidité, ventilateur, filtres HEPA (flux laminaire vertical/horizontal)
• Types de configuration : C (enclosure), B (ouvert), S (séparé)
• Sécurité : circuits de protection multiples
• Options de personnalisation : hublot d'inspection, obturateur automatique, porte de maintenance, mobilité sur roulettes