Système d'inspection optique

compactà grande vitesse

Les systèmes d'inspection des plaquettes de semi-conducteurs, qui ne peuvent tolérer la moindre contamination ou le moindre défaut, ont également recours à diverses mesures pour les systèmes optiques. Parce que notre moteur linéaire a réussi à éclairer uniquement des endroits spécifiques, et que la structure de l'obturateur pour le filtre d'ouverture empêche la lumière ambiante, nos moteurs linéaires sont appliqués à cette application. Le design compact de notre moteur linéaire permet d'installer plusieurs axes dans un espace réduit, ce qui permet de se concentrer sur des tailles et des figures très variées. Et aussi, parce que le mouvement à grande vitesse par entraînement direct est possible, il est adapté à la ligne de fabrication de semi-conducteurs qui exige un débit élevé.