Contrôleur de débit Turbo™ 2950V

de laboratoirehaute précision

Conçus spécifiquement pour les applications microélectroniques de pointe, les contrôleurs de débit liquide Turbo™ 2950V s'associent aux vaporisateurs Turbo II™ de MSP pour offrir des performances inégalées de distribution de vapeur de source liquide pour les processus de dépôt de films minces de semi-conducteurs (y compris CVD, PECVD, ALD et MOCVD). Les contrôleurs de débit liquide Turbo™ 2950V sont dotés d'un capteur de débit haute précision et haute vitesse conçu sur mesure et d'une électronique de contrôle de débit méticuleusement conçue. Ces composants offrent des performances de classe mondiale essentielles pour le traitement avancé des semi-conducteurs. - Contrôle de débit de précision : Les 2950 LFCs contiennent des capteurs de débit et une électronique de contrôle liquide pour contrôler la vanne Piezo sur les vaporisateurs Turbo II™ de MSP. Pour les vaporisateurs sans vanne Piezo de contrôle liquide intégrée, un LFC Turbo™ de la série 2950V peut être utilisé. - Applications : - Processus de dépôt de films minces de semi-conducteurs - Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) - Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) - Dépôt de couches atomiques (ALD) - Dépôt chimique en phase vapeur de métaux organiques (MOCVD) - Applications nécessitant des ajustements fréquents du débit - Caractéristiques et avantages : - Contrôle de débit de précision et ajustabilité - Précision et linéarité exceptionnelles - Temps de réponse ultra-rapide - Répétabilité supérieure - Options de gamme de débit étendues - Spécifications techniques / Caractéristiques : - Capteur de débit haute précision et haute vitesse conçu sur mesure - Électronique de contrôle de débit méticuleusement conçue - Conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs - Compatible avec les vaporisateurs Turbo II™ de MSP - Plusieurs numéros de modèle pour différentes gammes de débit