Vaporisateur de laboratoire Turbo II 2852PE

Le vaporisateur Turbo II™ 2852PE de MSP est conçu pour les applications microélectroniques de haute précision qui nécessitent des débits de vapeur faibles à moyens. Basé sur les vaporisateurs MSP Turbo™ éprouvés sur le terrain, très fiables et nécessitant peu de maintenance, le nouveau 2852PE fournit des concentrations de vapeur stables tout en conservant un très faible encombrement. Le 2852PE est également équipé d'une vanne de régulation de débit intégrée pour une réponse extrêmement rapide au débit. Détails du produit Dimensions (HxLxP) - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7,8'' x 3,3'' x 4,5'') Poids - 2,5 kg (5,6 lb) Raccords (sur l'appareil) - Entrée du gaz de ville - Écrou fendu femelle VCR de 1/4 po Écrou fendu femelle VCR Entrée de liquide - 1/8 po. VCR femelle Sortie de vapeur - écrou fendu de 1/4 po. Écrou fendu femelle VCR Air comprimé - raccord de tube instantané de 4 mm Pièces en contact avec le liquide - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Nickel Intégrité des fuites - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Hélium Alimentation électrique de l'appareil de chauffage1 - 208 VAC, 60 Hz, 450 W Gaz vecteur - Gaz inerte recommandé Débit maximal du gaz vecteur1 - 2,0 litres standard/min N2 à 50 psig Débit maximal de liquide2 - 7 g/min (TEOS ou équivalent) Limite de pression du système - 150 psig Air comprimé - 90 à 110 psig Plage de température3 - 40°C à 180°C Capteur de température - 2 thermocouples de type Ƙ Accessoires - Câble d'alimentation inclus (3 m). AMP CPC, connecteur à 4 broches avec 3 fils volants à l'extrémité opposée Les spécifications peuvent être modifiées sans préavis. 1 Le débit maximal du transporteur, la puissance de chauffage (W) et la tension de ligne sont réglables en usine. Pour plus d'informations, consulter le site www.tsi.com/contact. 2 Le débit maximal de liquide dépend du procédé. Les spécifications supposent une température du vaporisateur de 180°C, un débit maximal de gaz porteur et une pression <50 Torr immédiatement en aval du vaporisateur. 3 Une ventilation appropriée est nécessaire.