Thermostat pour salle blanche Semistat S 4400

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Description du produit
Thermostat de procédé point d'utilisation (POU) thermoélectrique pour un contrôle précis des températures de procédé dans les applications semi-conducteurs et salles propres. Réduit la consommation d'énergie jusqu'à 90 % par rapport aux systèmes à compresseur. Empreinte compacte avec option d'installation sous plancher pour minimiser l'utilisation de la salle propre. Contrôle précis de la température à ±0,1 °C améliorant l'homogénéité wafer à wafer.

Caractéristiques

• Thermostat de procédé thermoélectrique à faible consommation d'énergie
• Fonctionnement silencieux et peu de vibrations grâce à une technologie de refroidissement sans fluide frigorigène
• Pas de filtres ni de composants DI requis
• Raccordement pour purge avec air propre et sec (CDA) pour éviter la condensation
• Utilisation de fluides caloporteurs perfluorés
• Variante refroidissement par eau disponible
• Dimensions globales compactes et faible poids
• Volume de liquide de transfert de chaleur extrêmement faible
• Conforme SEMI S2 et F47

Plage de fonctionnement

• Température de fonctionnement min. : -20 °C
• Température de fonctionnement max. : 90 °C
• Stabilité de la température : 0.1 ± K

Données techniques (selon DIN 12876)

• Plage de température de travail : -20 ... 90 °C
• Stabilité de la température : 0.1 ± K
• Puissance de chauffe (min.) : 12 kW
• Volume de remplissage min. : 2.5 L
• Volume de remplissage max. : 2.8 L
• Dimensions (LxPxH) : 194 x 300 x 560 mm
• Poids : 38 kg
• Alimentation : Raccordement à PSC
• Technologie de refroidissement : thermoélectrique / refroidissement sans frigorigène (variante eau disponible)
• Conformité : SEMI S2 et F47

Puissance de refroidissement
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)

Téléchargements (documents disponibles)
Fiche technique Semistat S 4400
Manuel d'utilisation Semistat (Point of Use)
Brochure : Semistat / Circulation and process thermostats

Spécifications techniques

• Nom commercial / modèle : Semistat S 4400
• Réf. : L003278
• Plage de température de travail : -20 ... 90 °C
• Stabilité de la température : 0.1 ± K
• Puissance de chauffe (min.) : 12 kW
• Volume de remplissage (min./max.) : 2.5 L / 2.8 L
• Dimensions (LxPxH) : 194 x 300 x 560 mm
• Poids : 38 kg
• Technologie de refroidissement : thermoélectrique / refroidissement sans frigorigène (variante eau)
• Conformité : SEMI S2 et F47