Microscope FIB NX9000

FIB-SEMde laboratoirepour la recherche

Le système FIB-SEM NX9000, récemment mis au point par Hitachi, intègre une configuration optimisée pour un sectionnement en série à très haute résolution, permettant ainsi de répondre aux exigences les plus récentes en matière d'analyse structurelle 3D, ainsi que pour les analyses par TEM et 3DAP. Le système FIB-SEM NX9000 offre une précision maximale dans le traitement des matériaux pour un large éventail de domaines liés aux matériaux avancés, aux dispositifs électroniques, aux tissus biologiques et à une multitude d’autres applications. Caractéristiques Les colonnes SEM et FIB sont disposées orthogonalement afin d’optimiser leur positionnement pour l’analyse structurelle 3D. La combinaison d’une source d’électrons à émission de champ froid à haute luminosité et d’une optique haute sensibilité permet l’analyse d’une vaste gamme de matériaux, allant des tissus biologiques aux matériaux magnétiques. Le système de micro-échantillonnage et le système à triple faisceau permettent une préparation d’échantillons de haute qualité pour les applications TEM et à sonde atomique. Fraisage ionique et observation en incidence normale en temps réel pour une imagerie analytique fidèle Les colonnes SEM et FIB sont disposées orthogonalement afin de permettre l’imagerie SEM en incidence normale des sections transversales réalisées par FIB. La disposition orthogonale des colonnes élimine la déformation des proportions, le raccourcissement des images en coupe transversale et le décalage du champ de vision (FOV) lors de l’imagerie en coupes sériées, phénomènes inévitables avec les systèmes FIB-SEM conventionnels. Les images du NX9000 permettent une analyse structurelle 3D de très haute précision. La microscopie corrélative optique peut être facilement mise en œuvre grâce aux avantages de l’imagerie EM à surface plane. Cut&See La fonction Cut & See permet une imagerie haute résolution et à fort contraste des tissus biologiques, des semi-conducteurs et des matériaux magnétiques, tels que l’acier et le nickel, à de faibles tensions d’accélération.