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Microscope FIB-SEM NX2000SEMFIBd'inspection
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Caractéristiques
- Type
- SEM, FIB, FIB-SEM
- Applications
- de laboratoire, pour la recherche, d'inspection
- Technique d'observation
- SIM
- Configuration
- au sol
- Source d'électrons
- à émission de champ froid
- Type de détecteur
- d'électrons rétrodiffusés, d'électrons secondaires
- Résolution spatiale
2,8 nm, 3,5 nm, 4 nm, 60 nm
Description
Le NX2000 est un FIB-SEM optimisé pour les applications dans le domaine des semi-conducteurs (analyse des défauts avec importation de coordonnées KLARF, extraction de lamelles TEM, développement de dispositifs). Avec une course X,Y de 205 x 205 mm, la platine d'échantillonnage permet même le traitement de la surface complète de tranches de 200 mm sans rotation de l'échantillon. Le FIB Ga monté verticalement permet un courant ionique de 100nA à 30 kV. La colonne FE-SEM est équipée d'un émetteur de champ froid.
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