Microscope CFE-SEM SU8600

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Le SU8600 inaugure une nouvelle ère de microscopes électroniques à balayage à émission de champ froid (CFE-SEM) à ultra-haute résolution au sein de la gamme EM historique d’Hitachi. Cette plateforme CFE-SEM révolutionnaire intègre des fonctionnalités d’imagerie polyvalentes, une automatisation avancée, une stabilité accrue du système, des flux de travail efficaces adaptés aux utilisateurs de tous niveaux d’expérience, et bien plus encore. Caractéristiques Optique électronique et détecteurs Technologie de base (source d’électrons à émission de champ froid) Depuis la mise au point de la source d’électrons à émission de champ froid (CFE) en 1972, Hitachi High Tech n’a cessé d’améliorer cette technologie exceptionnelle dédiée à l’imagerie électronique haute résolution. Les dernières avancées en matière de conception des canons à électrons permettent d’obtenir une plus grande stabilité d’irradiation du faisceau d’électrons dans la plage de haute luminosité. Le SU8600 permet une imagerie à rapport signal/bruit élevé même à de faibles tensions d’accélération, et peut également être utilisé pour des mesures et analyses à long terme dans des conditions d’irradiation à fort courant, rivalisant ainsi avec les autres technologies de canons disponibles. Technologie de base (ExB) La détection efficace des électrons secondaires (SE) sans modifier la trajectoire des électrons primaires est rendue possible par la formation d’un champ électrique et d’un champ magnétique mutuellement orthogonaux (champ ExB) au-dessus de la lentille d’objectif. Cette technologie de base permet d’obtenir des images présentant un excellent rapport signal/bruit et un excellent contraste, même aux conditions de courant de sonde les plus faibles, souvent utilisées pour l’imagerie haute résolution. Technologie de base (SuperExB) L’évolution de la conception permettant de mettre en œuvre la fonction de mélange de signaux SuperExB est l’une des technologies phares d’Hitachi High-Tech. Les électrons (électrons secondaires, SE, ou électrons rétrodiffusés, BSE)