Microscope électronique à balayage à émission de champ SU7000

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Un FE-SEM moderne doit non seulement offrir des performances élevées, mais aussi disposer d'une multitude de fonctionnalités, notamment l'observation à grande échelle, l'analyse in situ, la pression variable, l'imagerie haute résolution à faibles tensions d'accélération et la collecte simultanée de signaux multiples. Le SU7000 est conçu pour répondre à ces exigences et bien plus encore, en fournissant des informations enrichies adaptées aux besoins diversifiés du domaine de la microscopie électronique. Caractéristiques Concept clé 1. Capacité d’imagerie polyvalente Le SU7000 excelle dans l’acquisition rapide de signaux multiples afin de répondre aux besoins étendus en matière de MEB, de l’imagerie à large champ de vision à la visualisation de structures subnanométriques, en passant par toutes les échelles intermédiaires. L’intégration d’optiques électroniques et de systèmes de détection de conception nouvelle permet l’acquisition simultanée et efficace de multiples signaux d’électrons secondaires et d’électrons rétrodiffusés. 2. Imagerie multicanal Le nombre de détecteurs montés sur le MEB ne cesse d’augmenter, tout comme la nécessité d’afficher efficacement toutes les informations collectées. Le SU7000 est capable de traiter, d’afficher et d’enregistrer jusqu’à 6 signaux simultanément afin d’optimiser l’acquisition d’informations. 3. Grande variété de techniques d’observation La chambre à échantillon et le système de vide sont optimisés pour : Les échantillons de grande taille La manipulation des échantillons selon différents axes Des conditions de pression variables Des conditions cryogéniques L’observation in situ du chauffage et du refroidissement 4. Microanalyse Le canon à électrons est équipé d’un émetteur Schottky fournissant un courant de faisceau pouvant atteindre 200 nA, afin de répondre aux besoins de diverses applications de microanalyse.