Une résolution spatiale de 0,078 nm en STEM est obtenue, associée à une grande capacité d'inclinaison de l'échantillon et à un ou plusieurs détecteurs EDX à grand angle solide, le tout dans une configuration à objectif unique.
Le HF5000 s’appuie sur les fonctionnalités du STEM dédié Hitachi HD-2700, notamment le correcteur d’aberrations entièrement automatisé développé par Hitachi, le double détecteur SDD EDX symétrique et l’imagerie SE corrigée en Cs. Il intègre également les technologies TEM/STEM avancées développées dans la série HF.
L’intégration de ces technologies éprouvées dans une nouvelle plateforme TEM/STEM de 200 kV donne naissance à un instrument offrant une combinaison optimale d’imagerie et d’analyse à l’échelle sub-Å, ainsi que la flexibilité et les capacités uniques nécessaires pour mener à bien les études les plus avancées.
Caractéristiques
Correcteur d’aberration sphérique à formation de sonde entièrement automatisé d’Hitachi
Canon à électrons FE à froid (Cold FEG) à haute luminosité et haute stabilité
Colonne et alimentations électriques ultra-stables pour des performances améliorées de l’instrument
Capacité d’imagerie SEM et STEM simultanée corrigée au césium avec une résolution atomique
Nouvelle platine d’échantillonnage à entrée latérale et nouveaux porte-échantillons à haute stabilité
Deux détecteurs EDX* de 100 mm² disposés symétriquement en vis-à-vis : « Symmetrical Dual SDD* »
Boîtier de conception nouvelle pour des performances optimales dans les environnements réels de laboratoire
Une large gamme de porte-échantillons avancés Hitachi*
FEG à froid haute luminosité × Haute stabilité × Correcteur d’aberration automatisé Hitachi
Le nouveau FEG à froid haute stabilité utilise une version entièrement repensée de la technologie Hitachi de source d’électrons à émission de champ à froid, établie de longue date.
La stabilité globale du système a également été optimisée afin de permettre une imagerie à l'échelle sub-Å. La colonne, les alimentations électriques
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